MIDAC製 FT-IRガス分析装置 Iシリーズ

米・MIDAC COPORATIONはガス相FT-IR分析装置専業メーカーです。そのメインモデルであるI4000シリーズは、日本では1990年台に導入され始めました。それまでラボの中でしか使われていなかったFT-IRガス分析装置に可搬性のある堅牢な設計により現地分析ができるようになり、瞬く間にオンサイトFT-IRガス分析装置としての評価を築いてきました。

他のモデルも含めるとこれまでに半導体・ガス・化学関連企業および官公庁に100台以上の販売実績があります。

産業用FT-IRガス分析装置 I-4000シリーズ

分析装置のセルにサンプルガスラインを接続し、半導体製造装置または除害装置の反応プロセスガスをフローさせて使用する。ソフトウェア画面から反応前のターゲットガスの濃度が分解されて減少し副生成ガスの濃度が増加するのがリアルタイムで確認できます。反応条件を変更しても瞬時に濃度変化がわかるため、半導体製造装置および除害装置の開発・評価に非常に有効なFT-IRガス分析装置です。

I-4000シリーズ

I-4000 [一般モデル]

半導体、液晶および太陽電池の製造工程で使われるPFCガスの評価向けのモデルです。高濃度測定用の短光路セル(1cmセル)を装着してCVD装置のクリーニングプロセスおよびエッチャーのエッチングプロセスを、低濃度測定用の長光路セル(15cmセル)を装着して除害装置の除害効率を評価します。特にFT-IRを使用して半導体、液晶および太陽電池の製造装置からの排ガス除害装置の除害効率をモニタすることはインテルプロトコルで推奨されています。MIDAC FT-IRガス分析装置はインテルプロトコルが提唱された使用された装置で、そのため国内外の半導体業界で広く導入されています。


デュアルセルモデル

I-1400 [デュアルセルモデル]

手動タイプではセルを付替えてからN2パージが進むまでの間測定ができませんが、デュアルセルモデルは瞬時に測定の切替ができ、除害装置の前段・後段の測定に便利です。


産業用FT-IRガス分析装置 I-8000シリーズ

高濃度セルおよび低濃度セルの付替えができるI-4000シリーズでは低濃度セル装着時にインターフェースを介す為にアラインの再調整の必要があり、また光量が損なわれ感度が出にくいという欠点がありましたが、I-1800シリーズではセルがFT-IR本体に直接組みつけられているため感度が高く、光路がブレないという利点があります。測定したいガスの濃度に応じて2mから20mまでセルを選択します。

20mセルモデル

I-1800 [20mセルモデル]

20mセルという光路長ながら1.8Lという低容積の長光路セルを実現致しました。高価なガスの消費量も少なくなり、運転経費を低減します。PFCガスやVOCガス等の有害物質を高感度で測定できるため、漏えい監視システムFABモニタリングシステムのベースとなっています。

FABモニタリングシステム適用例
fabmonitoring.pdf
PDFファイル 856.7 KB

2mセルモデル

I-1800 [20mセルモデル]

コンパクトな2mセルモデルも好評です。

軽量で扱いやすく、DTGSタイプも搭載できます。

PPM1ケタ~コンマ1ケタPPMオーダーのガスが測定対象です。


他にも2mセル、6mセル、10m、60mセルモデルがあります。

FT-IRガス分析に関する背景知識 コラム

(1)FT-IRとは

(1)FT-IRとは(英訳ページ)


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