ガス分析装置製品ラインアップ
I-4000シリーズ

MIDAC 産業用FT-IRガス分析計

[用途]

  • FT-IRによる半導体および液晶・製造装置のクリーニング・エッチングプロセスを評価
  • FT-IRによるPFCガス除害装置の除害効率の評価

FABモニタリングシステム

MIDAC 連続ガス分析計

[用途]

  • FT-IRガス分析による工場の有害物質
  • 漏洩監視

エアモニタリングシステム

MIDAC オープンパスFT-IRガス分析計

[用途]

  • FT-IRによる火山の噴煙分析
  • FT-IRによる工場の排煙調査

Boreal Laser社 TDLAS レーザーガス分析計

[用途]

  • オープンパスガス分析計
  • ガスの漏洩や大気モニタリング等

オー・エス・ピー製 ハンディVOCセンサー

[測定できるガス]
石油系・塩素系等の揮発性有機物質(VOC)


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