レンタル・デモ評価・見学

KDIはFT-IRガス分析装置やポータブル蛍光X線分析装置のレンタルを承ります。設備は欲しいが取り急ぎで分析をされたいお客様、ぜひ一度お問い合わせください。以下はレンタルの実例です:

FT-IRガス分析計によるPFCガスの評価

FT-IR(フーリエ変換赤外分光法)ガス分析とは赤外線の吸収を利用してガスを分析する方法ですが、半導体業界ではFT-IRを使ってCVDおよびエッチャーからの混合成分排気を一回でリアルタイムに測定する例があります。 CVDおよびエッチャーの真空ポンプ後段の配管からガスを抽出してガスセルにフローさせCVD・エッチャーの反応プロセスの終点検出に用いたり、除害装置の前後段のガスをモニターして除害効率を測定したりするのが目的です。

特に半導体業界ではインテルプロトコルおよびエプソンメソッドに準拠してPFCガスの除害効率を測定するという業界の自主基準が設けられています。温暖化対策のニーズが高まる今日、液晶および太陽電池業界にもこうした自主基準を設けてPFCガスを測定する流れになることが見込まれます。

しかし、生産に関わる投資ではないためこうしたガス分析計に対しては積極的に投資しにくい傾向にあるのも事実です。 そこで私たちは装置のレンタルおよび測定サービスをご提案しております。お客様には工場設備の改造までお願いしておりますが、それから後段のFT-IRに係る測定作業を承ります。

仮に装置に不具合が発生しても幣社スタッフが測定しているので安心です。 必要な時にレンタルで済ます、これが業界における今後の流れではないかと思っております。PFCガス評価以外にも評価機をご用意しておりますのでお問い合わせ下さい。

蛍光X線分析装置による土壌中の鉛の分析

KDIでは建設予定現場の土壌中の鉛含有量測定やボウリングしたポール中の重金属の分析を承った実例があります。建設業界では蛍光X線を使っての現地分析が推奨される流れとなっています。

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デモ機情報

MIDAC I4000 FTIRガス分析計
MIDAC I4000 FTIRガス分析計
MIDAC I1800 FT-IRガス分析計
MIDAC I1800 FT-IRガス分析計


RoHS・合金分析・膜厚分析用EDX 1800Bデモ可能です。

携帯型蛍光エックス線分析装置

EDX Pocket IIIデモ可能です。

携帯型蛍光エックス線分析装置

Genius XRFデモ可能です。


購入を検討されているお客様はご評価ください。現在キャンペーン価格でご提供しています。

デモ機が出払っている場合はスケジュール調整させていただく場合がございます。予めご了承ください。

ご来訪お待ちしております!

装置見学

弊社サービスセンターでFT-IRガス分析計や蛍光エックス線分析装置をご覧いただけます。

また、FT-IRや蛍光エックス線分析装置についての基礎知識のご説明も致しております。

企業の方、学生の方いずれも歓迎です。事前にお問合せください。

※時期によっては展示品が出払っている場合があります。事前にお問合せ下さい。

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