MIDAC FT-IRガス分析計 ━自動バルブ制御技術による複数ライン監視

これまで半導体製造装置の除害装置の除害効率を測定するには
下図のようにショートパスセルで高濃度排ガスを測った後に除害装置で無害化された低濃度ガスをロングセルで測定してきました。



しかし、この方法では前段測定と後段測定にタイムラグがあり、プロセスに対する真の除害効率はわからないと認識が広まってきました。
そこで近年では除害装置の前段と後段にFT-IRを2台使いシンクロさせて測定しようという試みが始まっています。


[2台のFTIRによる同時測定]



これまではFTIRをワゴン等に載せ移動して測定させていましたが、測定点が多くなると大変な作業になります。

そこでMIDAC社は得意分野であるバルブ制御技術を使っての複数台のモニタリングを提案しています。




上記はMIDACのDual ADC モデル、ファイバー式新型温度圧力計、定量ソフトウェアであるAutoQuant Pro
およびバルブ制御アドオンソフトウェアで構成できます。

旧式からも改造できるモデルもありますので新規ユーザーの方も既存ユーザーの方もFT-IRを有効に活用いただけます。
ぜひお問い合わせください。