MIDAC FT-IRガス分析装置ラインナップ─FTIRガス分析による半導体・液晶・太陽電池製造装置および除害装置の評価から大気分析・漏えい監視まで多様なアプリケーションをご提供しております。

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FTIRによるガス分析 [測れるガス] PFCガス、HClガス、HFガス、NOx、SOx　等 [測れないガス] 酸素・フッ素・水素　等　　　　　　　　　　　　　　　　　　[詳細]
FT-IRのガス分析例
液晶・半導体工場におけるFT-IRガス分析によるPFC排出量管理 FT-IR分析装置による工場漏洩物質モニタリングシステムオープンパスFT-IRを使った大気測定 FT-IRを使った触媒分解設備の連続排気分析←PPスライド。クリックするとスライドが進みます。 FT-IRによるオンライン水分分析 FT-IRによるオンライン大気分析(英文) FT-IRによるタバコ排煙分析 FT-IRによる焼却炉排煙分析の有効性(英文) 3インチオープンパスFT-IRガス分析システム
MIDAC FT-IRガス分析計製品ラインアップ

産業用FT-IR

I-4000シリーズ		I-1800シリーズ		Vシリーズ
[用途] FT-IRによる半導体および液晶・製造装置のクリーニング・エッチングプロセスを評価 FT-IRによるPFCガス除害装置の除害効率の評価		[用途] FT-IRによる製品ガス中の不純物分析 FT-IRによる低濃度のVOCガス・PFCガス測定および漏えい監視		[用途] FT-IRで製品ガス中のH2OやHF等を分析

連続分析用

FABモニタリングシステム		TITANオンラインモニタリング		バルブコントロールモジュール
[用途] FT-IRガス分析による工場の有害物質漏洩監視		[用途] FT-IR連続稼動による製品ガスの品質検査		[用途] FT-IR制御ソフトによるバルブの自動切替で複数ラインをモニター

オープンパスFT-IR

	エアモニタリングシステム		ARIES
	[用途] FT-IRによる火山の噴煙分析 FT-IRによる工場の排煙調査		[用途] オープンパスFT-IRによるシックハウスガス分析

ラボ用FT-IR

	Mシリーズ		ILLUMINATOR
	[用途] 大学・研究機関等でFT-IRを固体・液体・ガス分析に使用したいユーザー様向けオプションで ATRやPASアクセサリも着脱可		[用途] 自社のニーズにあったFT-IR 分析計をカスタムで設計したいユーザー様向け

FT-IRガス分析に関する背景知識
(1)FT-IRとは (1)FT-IRとは　英訳ページ (2)光の干渉、インターフェログラム、フーリエ変換およびシングルビーム (2)光の干渉、インターフェログラム、フーリエ変換およびシングルビーム英訳ページ (3)シングルビーム(バックグラウンド・サンプル)・透過率・吸光度スペクトル (3)シングルビーム(バックグラウンド・サンプル)・透過率・吸光度スペクトル英訳ページ
(4)ランベルト・ベールの法則と吸光度スペクトル (5)セルの測定検出濃度上限値・下限値 (6)他成分の干渉 (7)FT-IRの測定可能波数域 (8)FT-IR測定の定量方法 (9)FT-IRクイズその他のよみもの

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